4月26日下午，上海臺(tái)協(xié)科創(chuàng)工委會(huì)總干事、歡芯鼓伍半導(dǎo)體平臺(tái)創(chuàng)始人、青島大學(xué)微納技術(shù)學(xué)院教授羅仕洲博士受邀為“半導(dǎo)體物理基礎(chǔ)與實(shí)踐”微專(zhuān)業(yè)授課。數(shù)理學(xué)院副院長(zhǎng)孫玉芹擔(dān)任開(kāi)課主持人。課前，孫玉芹與上海積塔半導(dǎo)體有限公司資深總監(jiān)許端格博士為羅仕洲博士頒發(fā)課程特邀教師聘書(shū)。
本次課程聚焦“集成電路制造工藝之刻蝕與清洗工藝”專(zhuān)題，圍繞半導(dǎo)體制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)——刻蝕工藝與清洗工藝的技術(shù)原理、行業(yè)現(xiàn)狀及未來(lái)挑戰(zhàn)，深入探討理論人才與創(chuàng)新對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要意義。課程采用線上線下同步課堂形式，我校微專(zhuān)業(yè)學(xué)生、DBU大學(xué)研究生以及慕名而來(lái)的師生百余人參與學(xué)習(xí)。
課堂上，羅仕洲博士以半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的全球競(jìng)爭(zhēng)格局為切入點(diǎn)，結(jié)合當(dāng)前中美技術(shù)博弈背景，強(qiáng)調(diào)理論型人才在產(chǎn)業(yè)突破中的核心作用。羅博士援引自身在臺(tái)積電、中芯國(guó)際等企業(yè)的從業(yè)經(jīng)歷，強(qiáng)調(diào)工程師若僅依賴(lài)經(jīng)驗(yàn)而忽視理論，難以應(yīng)對(duì)工藝微縮化、材料復(fù)雜化的挑戰(zhàn)。未來(lái)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，需要更多理論型人才。
羅仕洲博士詳細(xì)解析等離子體物理、化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)等理論在設(shè)備設(shè)計(jì)與工藝優(yōu)化中的應(yīng)用，他認(rèn)為理論模型的建立，不僅能夠提升工藝穩(wěn)定性，還能夠縮短研發(fā)周期。當(dāng)前國(guó)內(nèi)高校在半導(dǎo)體工藝教學(xué)中應(yīng)加強(qiáng)跨學(xué)科融合，培養(yǎng)兼具理論深度與實(shí)踐能力的復(fù)合型人才，才能突破卡脖子的技術(shù)瓶頸。
面對(duì)美國(guó)技術(shù)封鎖的嚴(yán)峻形勢(shì)，羅仕洲博士指出，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正經(jīng)歷從“國(guó)產(chǎn)替代”向“自主創(chuàng)新”的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型。刻蝕設(shè)備曾是國(guó)產(chǎn)化率最低的環(huán)節(jié)之一，但近年來(lái)國(guó)內(nèi)不少企業(yè)通過(guò)自主創(chuàng)新，已在特定領(lǐng)域達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。他通過(guò)一些典型案例，講述了中國(guó)企業(yè)自主創(chuàng)新的可行性，同時(shí)也對(duì)青年學(xué)子給予厚望，期待他們未來(lái)加大創(chuàng)新力度，攻堅(jiān)克難。
羅博士說(shuō)，“半導(dǎo)體制造行業(yè)中的清洗工藝十分重要。看似簡(jiǎn)單，實(shí)則復(fù)雜。任何微粒的殘留或污染都可能導(dǎo)致整片晶圓的報(bào)廢。”他結(jié)合自身調(diào)配清洗液配方優(yōu)化等實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，揭示了清洗工藝背后的科學(xué)邏輯。在創(chuàng)新調(diào)配清洗液配方時(shí)，任何因素的忽視都可能導(dǎo)致半導(dǎo)體制造的良率下降。所有這些問(wèn)題均需通過(guò)大量人才的研究和創(chuàng)新才能獲得突破。
在問(wèn)答環(huán)節(jié)，學(xué)生和參加講座的老師踴躍提問(wèn)。一名老師問(wèn)道：“關(guān)于現(xiàn)代工藝的刻蝕，很少采用像從前常用的液體刻蝕，而是采用先進(jìn)的等離子體刻蝕，其優(yōu)勢(shì)在哪？”羅博士回答道：“半導(dǎo)體的加工通常是非常精細(xì)化的，其工藝通常在微小單位下進(jìn)行，普通的液體刻蝕無(wú)法保證刻蝕的精度以及平整度，而通過(guò)等離子體和化學(xué)物質(zhì)結(jié)合的刻蝕，不但提高了效率，也提高了精度。”針對(duì)“想轉(zhuǎn)行半導(dǎo)體行業(yè)的小白”的困惑，他悉心推薦相關(guān)優(yōu)秀教材，并鼓勵(lì)同學(xué)們積極學(xué)習(xí)，為半導(dǎo)體行業(yè)注入新鮮血液。
理論人才與創(chuàng)新精神，正是驅(qū)動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)步的核心驅(qū)動(dòng)力。本次課程不僅為學(xué)子們揭開(kāi)了刻蝕工藝與清洗工藝的神秘面紗，更勾勒出中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)突破封鎖、邁向高端的清晰路徑。現(xiàn)場(chǎng)的同學(xué)深信羅博士所言，表示“好好學(xué)習(xí)理論知識(shí)，通過(guò)加強(qiáng)理論知識(shí)進(jìn)行創(chuàng)新，去填補(bǔ)半導(dǎo)體行業(yè)金字塔的根基！”
數(shù)理學(xué)院 供稿